G2 electrode is mounted so as to be movable along the beam line and,
optionally, perpendicular to it as well. G1 and G2 are curved with a
constant gap between G1 and G2 in the radial direction (so that the two
electrodes are concentric). This contrasts with the prior art where G1 and
G2 were equidistantly spaced along the beam line direction instead. G1 is
made re-entrant adjacent the slit so as to improve extraction efficiency
from the plasma. Finally, a lens such as a quadrupole lens is formed
downstream of G3.
El electrodo G2 se monta para ser movible a lo largo de la línea de la viga y, opcionalmente, perpendicular a él también. G1 y G2 se curvan con un boquete constante entre G1 y G2 en la dirección radial (de modo que los dos electrodos sean concéntricos). Esto pone en contraste con el arte anterior donde G1 y G2 equidistantly fueron espaciados a lo largo de la línea dirección de la viga en lugar de otro. G1 se hace reentrante adyacente la raja para mejorar eficacia de la extracción del plasma. Finalmente, una lente tal como una lente quadrupole se forma río abajo de G3.
