The problem of controlling the temperature of the different units in a
process tool system which have to be cooled or heated using thermal
transfer fluid at selected setpoints and flow rates is resolved by a
system having multiple modular units each with some operative and form
factor commonality but at least dual functional capability. The modular
units each have separate recirculation loops for thermal transfer fluid
but cool the fluid using refrigeration cycles or facilities water supplies
or heat the fluid using compressed hot gases or electrical energy. By
employing operative units which can be internally varied to provide
different thermal capacities within form factor constraints, the system
enables concurrent temperature control needs of a number of different
units to be met with an energy efficient, low footprint, highly adaptable
system.
Het probleem om de temperatuur van de verschillende eenheden in een systeem van het proceshulpmiddel die worden gekoeld of moeten worden verwarmd gebruikend thermische overdrachtvloeistof bij geselecteerd setpoints en wordt stroomtarieven te controleren door een systeem opgelost dat veelvoudige modulaire eenheden heeft elk met wat arbeider en vormfactorenuniformiteit maar minstens dubbel functioneel vermogen. De modulaire eenheden elk hebben afzonderlijke recyclagelijnen voor thermische overdrachtvloeistof maar koelen de vloeistof die koelingscycli of faciliteitenwatervoorziening gebruikt of verwarmen de vloeistof die samengeperste hete gassen of elektroenergie gebruikt. Door doeltreffende eenheden aan te wenden die intern kunnen worden gevarieerd om verschillende thermische capaciteiten binnen de beperkingen van de vormfactor te verstrekken, laat het systeem dat de gezamenlijke behoeften van de temperatuurcontrole van een aantal verschillende eenheden toe worden voldaan aan een energie efficiënte, lage voetafdruk, hoogst aanpasbaar systeem.
