An integrated piezoelectric ultrasound array structure configured to
minimize the effects of differential thermal expansion between the array
and the integrated circuit and to improve the mechanical and acoustical
integrity of the array. The transducer array may have an interposed
thinned supporting substrate and is matched to the integrated circuit
substrate for thermal expansion so as to retain mechanical integrity of
the array/IC bond within the working temperature range. Transducer
elements are laterally isolated acoustically and as to thermal expansion
by air or other acoustically attenuating medium of lower elastic modulus
material between the elements. Acoustical effects are vertically
acoustically isolated with capacitive coupling and small area solder bumps
relative to wavelength, and further laterally acoustically isolated by
thin supporting substrates relative to wavelength, including thinned
semiconductor integrated circuit substrates.
Una struttura piezoelettrica integrata di allineamento di ultrasuono configurata per minimizzare gli effetti di espansione termica differenziale fra l'allineamento ed il circuito integrato e per migliorare l'integrità meccanica ed acustica dell'allineamento. L'allineamento del trasduttore può avere un substrato di sostegno assottigliato interposto ed è abbinato al substrato del circuito integrato per espansione termica in modo da mantenere l'integrità meccanica del legame di array/IC all'interno della gamma di temperature di funzionamento. Gli elementi del trasduttore sono isolati lateralmente acustico e quanto ad espansione termica da aria o dall'altro mezzo acustico d'attenuazione del materiale elastico più basso del modulo fra gli elementi. Gli effetti acustici verticalmente acustico sono isolati con l'accoppiamento capacitivo ed alla la lunghezza d'onda relativa degli urti della saldatura di piccola zona ed ulteriore acustico isolata lateralmente alla dalla lunghezza d'onda relativa di sostegno sottile dei substrati, compreso i substrati assottigliati del circuito integrato a semiconduttore.
