A method of forming a floating structure lifting up from a substrate and a
method of manufacturing a field emission device (FED) employing the
floating structure are provided. The method of forming a floating
structure includes forming an expansion causer layer, which can generate a
byproduct from the reacting with a predetermined reactant gas causing
volume expansion, on the substrate; forming an object material layer for
the floating structure on a resultant stack; forming a hole through which
the reactant gas is supplied on a resultant stack; supplying the reactant
gas through the hole so that the object material layer partially lifts up
from the substrate due to the byproduct generated from the reaction of the
expansion causer layer with the reactant gas; and removing the byproduct
through the hole so that the portion of the object material layer lifting
up from the substrate can be completely separated from the substrate to
form the floating structure.
Обеспечены метод формировать плавая структуру поднимаясь вверх от субстрата и метод изготовлять (ПОДАННОЕ) приспособление излучения поля используя плавая структуру. Метод формировать плавая структуру вклюает формировать слой causer расширения, который может произвести субпродукт от реагировать при предопределенный газ реактанта причиняя расширение тома, на субстрате; формировать слой предмета материальный для плавая структуры на возникающем стоге; формирующ отверстие через газ реактанта поставлен на возникающем стоге; поставлять газ реактанта через отверстие так, что слой предмета материальный частично поднимется вверх от субстрата должного к субпродукту произведенному от реакции слоя causer расширения с газом реактанта; и извлекающ субпродукт через отверстие так, что часть слоя предмета материального поднимаясь вверх от субстрата можно вполне отделить от субстрата для того чтобы сформировать плавая структуру.
