As disclosed herein, a system and method are provided for detection and
measurement of noise on E beam tools and devices including a spectrum
analyzer which looks at the different frequency components of the noise.
The deflected electron beam from the tool is calibrated in a coarse and
fine mode by scanning the beam over a grid-like calibration target. The
position of where the bars are detected is compared to where they actually
are, and the deflection can be calibrated so that it matches the grid.
This invention can utilize a Fast Fourier Transform (FFT) of the
time-ordered data which allows one to see peaks associated with noise.
Как показано здесь, система и метод обеспечены для обнаружения и измерения шума на инструментах и приспособлениях луча е включая спектральный анализатор который смотрит по-разному компоненты частоты шума. Отклоненный электронный луч от инструмента откалибрирован в грубом и точном режиме путем просматривать луч над а решетк-kak цель тарировки. Положение где адвокатскя сословие обнаружены сравнено к где они фактическ, и отклонение можно откалибрировать так, что оно будет сопрягать решетку. Этот вымысел может использовать быстрое fourier transform (FFT) врем-prikazannyx данных позволяют одно увидеть пики связанные с шумом.
