A contactor for semiconductor devices includes a base unit for holding a
semiconductor device provided with a plurality of terminals and a wiring
substrate provided with contact electrodes at positions corresponding to
at least some of the terminals. The contact electrodes and the terminals
are electrically connected when the wiring substrate is held on the base
unit. The contactor further includes a position maintaining force applying
mechanism for applying a position maintaining force between the base unit
and the wiring substrate and a contact pressure applying mechanism for
applying a contact pressure between the semiconductor device and the
wiring substrate. The position maintaining force applying mechanism and
the contact pressure applying mechanism are operable in an independent
manner.
Un conjoncteur pour des dispositifs de semi-conducteur inclut une unité centrale pour juger un dispositif de semi-conducteur équipé de pluralité de bornes et d'un substrat de câblage équipé d'électrodes de contact aux positions correspondant au moins à certaines des bornes. Les électrodes de contact et les bornes sont électriquement reliées quand le substrat de câblage est tenu sur l'unité centrale. Le conjoncteur autre inclut une force de maintien de position appliquant le mécanisme pour appliquer une force de maintien de position entre l'unité centrale et le substrat de câblage et une pression de contact appliquant le mécanisme pour appliquer une pression de contact entre le dispositif de semi-conducteur et le substrat de câblage. La force de maintien de position appliquant le mécanisme et la pression de contact appliquant le mécanisme sont fonctionnelles d'une façon indépendante.
