Apparatus and method for providing high dielectric constant decoupling
capacitors for semiconductor structures. The high dielectric constant
decoupling capacitor can be fabricated by depositing high dielectric
constant material between adjacent conductors on the same level, between
conductors in successive levels, or both, to thereby provide very large
capacitance value without any area or reliability penalty.
Materiale e metodo per fornire alto costante dielettrico che disaccoppia i condensatori per le strutture a semiconduttore. L'alto costante dielettrico che disaccoppia il condensatore può essere fabbricato dal depositare l'alto materiale di costante dielettrico fra i conduttori adiacenti allo stesso livello, fra i conduttori nei livelli successivi, o da entrambi, quindi per fornire il valore molto grande di capacità senza alcuna pena di affidabilità o di zona.
