A solid state structure having a surface is provided and exposed to a flux,
F, of incident ions under conditions that are selected based on:
##EQU1##
where C is concentration of mobile adatoms at structure surface, r is
vector surface position, t is time, T.sub.1 is number of adatoms created
per incident ion, D is adatom diffusivity, .tau..sub.trap is average
lifetime of an adatom before adatom annihilation occurs at a structure
surface defect characteristic of structure material, and .sigma..sub.C is
cross-section for adatom annihilation by incident ions characteristic of
selected ion exposure conditions. Ion exposure condition selection
controls sputtering of the structure surface by incident ions to
transport, within the structure including the structure surface, structure
material to a feature location, in response to the ion flux exposure, to
produce a feature substantially by locally adding structure material to
the feature location.
Eine Festkörperstruktur, die eine Oberfläche hat, wird zur Verfügung gestellt und herausgestellt einem Fluß, gründete F, der Ereignisionen unter Bedingungen, die vorgewählt werden, an: ## EQU1 ## wo C Konzentration der beweglichen adatoms an der Strukturoberfläche ist, ist r vektoroberflächenposition, ist- t Zeit, ist T.sub.1 Zahl der adatoms, die pro Ereignision verursacht werden, ist D adatom Ausbreitungsvermögen, ist tau..sub.trap durchschnittliche Lebenszeit eines adatom, bevor adatom Vernichtung an einem Strukturoberflächendefekt auftritt, der vom Strukturmaterial charakteristisch ist, und sigma..sub.C ist für adatom Vernichtung durch die Ereignisionen Querschnitts, die von vorgewählten Ionenbelichtung Zuständen charakteristisch sind. Ionenbelichtung Zustand Vorwähler steuert das Spritzen der Strukturoberfläche durch Ereignisionen, um, innerhalb der Struktur einschließlich die Strukturoberfläche, Strukturmaterial zu einer Eigenschaft Position, in Erwiderung auf die Ionenflußbelichtung zu transportieren, eine Eigenschaft im wesentlichen zu produzieren, indem sie am Ort Strukturmaterial der Eigenschaft Position hinzufügt.
