For use in a MEMS device having a suspended proof mass, a method and
apparatus for securing the MEMS device during a period of high
acceleration. The method may include applying a DC voltage between the
proof mass and a non-suspended structure of the device. The non-suspended
structure may be mounted on a substrate, and the substrate or the
non-suspended structure may be electrically isolated from the proof mass
by an insulating layer or by one or more islands. Applying the DC voltage
creates an electrostatic force that moves the proof mass toward (or holds
the proof mass near) the substrate. Movement of the proof mass may be
limited by mechanical contact between the proof mass and the insulating
layer, the one or more islands, or by a cage mounted on the substrate
during the period of high acceleration.
Per uso in un dispositivo di MEMS che ha una massa sospesa della prova, un metodo ed apparecchio per l'assicurazione del dispositivo di MEMS durante il periodo di alta accelerazione. Il metodo può includere l'applicazione della tensione di CC fra la massa della prova e una struttura non-sospesa del dispositivo. La struttura non-sospesa può essere montata su un substrato ed il substrato o la struttura non-sospesa può essere isolata elettricamente dalla massa della prova da uno strato isolante o da una o più isole. L'applicazione della tensione di CC genera una forza elettrostatica che sposta la massa della prova verso (o le strette la massa della prova vicino) il substrato. Il movimento della massa della prova può essere limitato tramite il contatto meccanico fra la massa della prova e lo strato isolante, le una o più isole, o da una gabbia montata sul substrato durante il periodo di alta accelerazione.
