A system and method for controlling a critical process variable, such as
the temperature of one or more temperature control units for cluster tools
in a semiconductor fabrication facility, uses dual interrelated PID)
algorithms for interrelated but at times separate control of heating
capabilities. The temperature control units operate with high power
efficiency, because no heating energy is expended during cooling and
non-transition modes. When approaching a temperature threshold, however,
the heating algorithm is reinstated just long enough to provide minimum
undershoot and enabling precise, low per consuming, steady state control
at .+-.0.1.degree. C., minimizing undershoot and enabling precise steady
state control at .+-.0.1.degree. C.
Um sistema e um método para controlar uma variável process crítica, tal como a temperatura de um ou mais unidade de controle da temperatura para ferramentas do conjunto em uma facilidade da fabricação do semicondutor, usam algoritmos relacionados duplos de PID) para o controle relacionado mas às vezes separado de potencialidades do heating. As unidades de controle da temperatura operam-se com eficiência do poder elevado, porque nenhuma energia de heating expended durante modalidades refrigerar e de non-transição. Ao aproximar um ponto inicial da temperatura, entretanto, o algoritmo do heating é restabelecido apenas o suficiente para fornecer o undershoot mínimo e permitir precisos, baixo por consumir, controle do estado constante no +-.0.1.degree. C., undershoot minimizando e permitir o controle preciso do estado constante no +-.0.1.degree. C.
