The present invention provides, in one aspect, an optical device, a method
of manufacture therefor, and an optical system including the same. The
optical device may include a membrane configured to be electrically
deformable and reflective. The membrane may further be positioned over a
cavity located within a substrate. The device may additionally include a
transmissive spacer coupled to the substrate, and a lens coupled to the
transmissive spacer and optically aligned with the membrane.
La presente invenzione fornisce, in una funzione, un dispositivo ottico, un metodo della fabbricazione per questo e un sistema ottico compreso lo stesso. Il dispositivo ottico può includere una membrana configurata per essere elettricamente deformable e riflettente. La membrana può più ulteriormente essere posizionata sopra una cavità situata all'interno di un substrato. Il dispositivo può includere ulteriormente un distanziatore transmissive accoppiato al substrato e un obiettivo accoppiato al distanziatore transmissive ed otticamente stato allineato rispetto alla membrana.
