The present invention provides improved MEMS devices and methods for use
with fiber-optic communications systems. In one embodiment, an apparatus
(100) for steering light has a base layer (110), a beam layer (114) and a
folded flexure assembly (120) coupled therebetween. The folded flexure
assembly complete underlies the beam layer, and facilitates rotation of
the beam layer relative to the base layer. The flexure assemblies further
provide a counter rotation force to help prevent the beam layer from
sticking in an actuated position. In one aspect, the base layer includes
raised portions (140, 142) which operate as mechanical stops for the beam
layer. In this manner, the counter rotation force helps prevent the beam
layer from sticking to the base layer or the raised portions.
Присытствыющий вымысел обеспечивает улучшенные приспособления и методы MEMS для пользы с волоконнооптическими системами связи. В одном воплощении, прибор (100) для света управления рулем имеет низкопробный слой (110), слой луча (114) и сложенный соединенный агрегат сгибания (120) therebetween. Сложенный агрегат сгибания вполне класет слой в основу луча, и облегчает вращение слоя луча по отношению к низкопробному слою. Агрегаты сгибания более дальнейшие обеспечивают встречное усилие вращения для того чтобы помочь предотвратить слой луча от вставлять в сработанном положении. В один аспект, низкопробный слой вклюает поднятые части (140, 142) которые работают по мере того как механически стопы для луча наслаивают. В этом образе, встречная помощь усилия вращения предотвращает слой луча от вставлять к низкопробному слою или поднятым частям.
