In one embodiment, a polarization measuring device comprises a light
source, a reticle positioned below the light source, an opaque frame
having a single aperture, the opaque frame positioned below the reticle, a
lens positioned below the opaque frame, and a wafer having photoresist on
its surface. The aperture of the frame allows no more than a first light
ray to pass from the light source through the reticle and the lens onto a
first surface point on the photoresist. The aperture of the frame also
allows no more than a second light ray to pass from the light source
through the reticle and the lens onto a second surface point on the
photoresist. The degree of polarization of the light source can be
determined from the first amount of light absorbed at the first surface
point and the second amount of light absorbed at the second surface point.
В одном воплощении, измеряющий прибор поляризации состоит из источника света, перекрещения расположенного под источником света, опаковой рамки имея одиночную апертуру, опаковой рамки расположенной под перекрещением, объектива расположенного под опаковой рамкой, и вафли имея фоторезист на свою поверхность. Апертура рамки позволяет no more чем первый световой луч к пропуску от источника света через перекрещение и объектив на первый пункт поверхности на фоторезисте. Апертура рамки также позволяет no more чем второй световой луч к пропуску от источника света через перекрещение и объектив на второй пункт поверхности на фоторезисте. Степень поляризации источника света можно обусловить от первого количества света поглощенного на первый этап поверхности и второго количества света поглощенного на второй этап поверхности.
