Electrostatic actuator and method of driving the same

   
   

A first stator is provided with stator electrodes sequentially arranged in a predetermined direction. An extended electrode is mounted on a second stator arranged to face the first stator. A slider is movably arranged between the first and second stators. The slider is provided with a large number of slider electrodes arranged to face the stator electrodes and a second slider electrode facing the extended electrode. The slider electrodes are maintained at the ground potential. A first and second driving voltage are periodically applied to the stator electrodes and to the extended electrode, respectively, which are opposite to each other in phase and are periodically switched between the ground potential and the positive driving voltage. Thus, the slider is moved in a direction while being vibrated.

Um primeiro estator é fornecido com os elétrodos do estator arranjados sequencialmente em um sentido predeterminado. Um elétrodo prolongado é montado em um segundo estator arranjado para enfrentar o primeiro estator. Um slider é arranjado mòvel entre os primeiros e segundos estatores. O slider é fornecido com um grande número elétrodos do slider arranjados para enfrentar os elétrodos do estator e um segundo elétrodo do slider que enfrentam o elétrodo prolongado. Os elétrodos do slider são mantidos no potencial à terra. Uma primeira e segunda tensão dirigindo é aplicada periòdicamente aos elétrodos do estator e ao elétrodo prolongado, respectivamente, que são opostos a se na fase e são comutados periòdicamente entre o potencial à terra e a tensão dirigindo positiva. Assim, o slider é movido em um sentido ao ser vibrado.

 
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