A new acoustic sensing device or directional microphone having greater
sensitivity and reduced noise. The directional microphone or acoustic
sensor has a rigid, one micron thick, polysilicon membrane having
dimensions of about 1 mm.times.2 mm. The membrane is supported upon its
center by rigid supports having torsional and transverse stiffness. The
differential microphone is useful in hearing aids, telecommunications
equipment, information technology and military applications.
Un nuovo rivelatore acustico o un microfono direzionale che ha sensibilità più grande e rumore ridotto. Il microfono direzionale o il sensore acustico ha un rigido, spesso un micron, membrana del polysilicon che ha dimensioni di circa 1 mm.times.2 millimetro. La membrana è sostenuta sul relativo centro dai supporti rigidi che hanno rigidezza di torsione e trasversale. Il microfono differenziale è utile nelle protesi acustiche, nelle telecomunicazioni apparecchiatura, nella tecnologia dell'informazione e nelle applicazioni militari.