A multiplexed analog control system for an micro electromechanical systems
(MEMS) array of electrostatic actuators, such as tiltable mirrors in an
optical switch. Each actuator includes a variable gap capacitor formed as
part of the movable mechanical element. A hold capacitor is connected to
each actuator capacitor, and a selectable high-voltage inverter connects
them to provide a bipolar drive signal of 50% duty cycle. A single power
digital controlled current source is connected to all the drive circuits
to provide a high-power correction signal. Address decoders enable a
selected one of the drive circuits to add or subtract the correction from
the hold capacitor.
Ένα πολλαπλασιασμένο αναλογικό σύστημα ελέγχου για μια ηλεκτρομηχανική σειρά συστημάτων μικροϋπολογιστών (MEMS) ηλεκτροστατικών ενεργοποιητών, όπως οι tiltable καθρέφτες σε έναν οπτικό διακόπτη. Κάθε ενεργοποιητής περιλαμβάνει έναν μεταβλητό πυκνωτή χάσματος που διαμορφώνεται ως τμήμα του κινητού μηχανικού στοιχείου. Ένας πυκνωτής λαβής συνδέεται με κάθε πυκνωτή ενεργοποιητών, και ένας επιλέξιμος υψηλής τάσεως αναστροφέας τους συνδέει για να παρέχει ένα διπολικό σήμα κίνησης του κύκλου καθήκοντος 50%. Μια ενιαία ψηφιακή ελεγχόμενη τρέχουσα πηγή ενέργειας συνδέεται με όλα τα κυκλώματα κίνησης για να παρέχει ένα υψηλής ισχύος σήμα διορθώσεων. Οι αποκωδικοποιητές διευθύνσεων επιτρέπουν επιλεγμένου ενός από τα κυκλώματα κίνησης για να προσθέσουν ή να αφαιρέσουν τη διόρθωση από τον πυκνωτή λαβής.
