Disclosed is an apparatus and method for detecting whether rotatable MEMS
elements are in the "on" or "off" position. Embodiments of the invention
have application in devices switches that employ mirrors that move between
an "on" or "off" position, wherein they reflect light from an input fiber
into an output fiber in the "on" position, and allow the light to pass in
the "off" position. Electrodes are positioned in the device such that the
mirrors are close to, and therefor capacitively coupled to, a different
electrode depending on whether they are in the "on" or "off" position.
This invention is especially useful for switches that already employ
electrodes for electrostatic clamping of mirrors in one or more positions,
since those same electrodes can be used both to electrostatically clamp
the mirrors and to sense their position. The method described in this
invention comprises sensing of the capacitance between the mirrors and the
one or more electrodes used to clamp the mirrors in its one or more
position in order to detect which of the positions the mirrors are clamped
in. Furthermore, the magnitude of the capacitances can be monitored to
detect improper clamping.
Gegeben ein Apparat und eine Methode für das Ermitteln frei, ob drehbare MEMS Elemente in der "on" oder "off" Position sind. Verkörperungen der Erfindung haben Anwendung in den Geräteschaltern, die Spiegel einsetzen, die zwischen "on" oder "off" Position bewegen, worin sie Licht von einer Eingang Faser in eine Ausgang Faser in der "on" Position reflektieren, und das Licht in die "off" Position überschreiten lassen. Elektroden werden in die Vorrichtung so in Position gebracht, daß die Spiegel nah an sind, und verbunden dafür capacitively zu, eine andere Elektrode abhängig von, ob sie in der "on" oder "off" Stellung sind. Diese Erfindung ist für Schalter besonders nützlich, die bereits Elektroden für das elektrostatische Festklemmen der Spiegel in einer oder mehr Positionen einsetzen, da jene gleichen Elektroden benutzt werden können, um die Spiegel elektrostatisch festzuklemmen und ihre Position abzufragen. Die Methode, die in dieser Erfindung beschrieben wird, enthält die Abfragung von der Kapazitanz zwischen den Spiegeln und der einer oder mehr Elektroden, die benutzt werden, um die Spiegel in seiner einer oder mehr Position festzuklemmen, um zu ermitteln, welches der Positionen die Spiegel innen festgeklemmt werden. Ausserdem kann die Größe der Kapazitanzen überwacht werden, um das unsachgemäße Festklemmen zu ermitteln.
