The present invention pertains to techniques for increasing the available
illumination light, increasing the resolution, and optimizing the spectrum
of optical inspection systems. These techniques involve combining the
light beams from two or more separate illumination sources. In one
embodiment, this performed by utilizing two separate illumination sources
wherein one of the illumination sources compensates the other illumination
source in the wavelength range where illumination light intensity is low.
Specifically, this can be performed by utilizing a broadband illumination
source and a narrowband illumination source combined with dichroic
beamsplitters.
Die anwesende Erfindung betrifft Techniken für die Erhöhung des vorhandenen Ablichtung Lichtes, die Erhöhung der Auflösung und die Optimierung des Spektrums der optischen Kontrolle Systeme. Diese Techniken beziehen mit ein, die Lichtstrahlen von zwei oder mehr zu kombinieren unterschiedliche Ablichtung Quellen. In einer Verkörperung führte dieses durch, indem es zwei verschiedene Ablichtung Quellen verwendete, worin eine der Ablichtung Quellen die andere Ablichtung Quelle im Wellenlängenbereich ausgleicht, in dem Ablichtung Lichtintensität niedrig ist. Spezifisch kann dieses durchgeführt werden, indem man eine Breitbandablichtung Quelle und eine narrowband Ablichtung Quelle verwendet, die mit dichroiken beamsplitters kombiniert werden.
