Based on a plurality of defects' position-coordinates and attribute
detected by an inspecting apparatus, defects that are easily detectable by
an observing apparatus are selected. With these selected defects employed
as the indicator, the observing apparatus detects and observes the
defects. Moreover, creating a coordinate transformation formula for
representing a correlated relationship in the defects'
position-coordinates between both the apparatuses, the observing apparatus
transforms the defects' position-coordinates so as to observe the defects.
Basé sur une pluralité des défauts position-coordonne et l'attribut détecté par un appareil d'inspection, les défauts qui sont facilement discernables par un appareil observant sont choisis. Ces défauts choisis étant utilisé comme indicateur, l'appareil observant détecte et observe les défauts. D'ailleurs, créer une formule du même rang de transformation pour représenter un rapport corrélé dans les défauts position-coordonne entre les les deux les appareils, l'appareil observant transforme les défauts position-coordonne afin d'observer les défauts.
