A method and system in integrated circuit metrology for adapting a
metrology system to work with diverse metrology devices. One embodiment is
a method and system for generating signal adjustment data to adapt
measured diffraction signals to enable use of a library of diffraction
signals and structure profiles created for a different metrology device.
Another embodiment is the creation and use of a data store of diffraction
adjustment vectors and metrology device specifications relative to a
reference device specification.
Метод и система в метрологии интегрированной цепи для приспосабливать систему метрологии к работе с разнообразными приспособлениями метрологии. Одним воплощением будет методом и системой для производить данные по регулировки сигнала для того чтобы приспособить измеренные сигналы огибания включить пользу архива сигналов огибания и профилей структуры созданных для по-разному приспособления метрологии. Другим воплощением будет творением и пользой магазина данных векторов регулировки огибания и спецификаций приспособления метрологии по отношению к спецификации приспособления справки.
