Metrology diffraction signal adaptation for tool-to-tool matching

   
   

A method and system in integrated circuit metrology for adapting a metrology system to work with diverse metrology devices. One embodiment is a method and system for generating signal adjustment data to adapt measured diffraction signals to enable use of a library of diffraction signals and structure profiles created for a different metrology device. Another embodiment is the creation and use of a data store of diffraction adjustment vectors and metrology device specifications relative to a reference device specification.

Метод и система в метрологии интегрированной цепи для приспосабливать систему метрологии к работе с разнообразными приспособлениями метрологии. Одним воплощением будет методом и системой для производить данные по регулировки сигнала для того чтобы приспособить измеренные сигналы огибания включить пользу архива сигналов огибания и профилей структуры созданных для по-разному приспособления метрологии. Другим воплощением будет творением и пользой магазина данных векторов регулировки огибания и спецификаций приспособления метрологии по отношению к спецификации приспособления справки.

 
Web www.patentalert.com

< Method and system for measuring audio and video synchronization error of audio/video encoder system and analyzing tool thereof

< Video decoder having lock algorithm that distinguishes between a noisy television signal input and a video recorder signal

> Television receiver

> Image processing device and method, and recording medium

~ 00131