A process for reducing or eliminating NH.sub.3 /HF/MFz liquid waste melt in
the manufacture of NF.sub.3 is provided which includes the steps of
providing an NF.sub.3 reactor for a reaction of F.sub.2 with a liquid
NH.sub.3 /HF/MFz mixture that produces NF.sub.3, HF, N.sub.2 and other
nitrogen fluorides as gaseous products and a liquid NH.sub.3 /HF/MFz
mixture as the liquid waste melt. The process further provides for
reduction or elimination of the liquid NH.sub.3 /HF/MFz waste melt
produced by the reactor.
Un procedimento per la riduzione o l'eliminazione della fusione dello spreco liquido di NH.sub.3 /HF/MFz nella fabbricazione di NF.sub.3 รจ fornito che include i punti di fornire un reattore NF.sub.3 per una reazione di F.sub.2 una miscela del liquido NH.sub.3 /HF/MFz che produce NF.sub.3, l'HF, N.sub.2 ed altri fluoruri dell'azoto come prodotti gassosi e una miscela del liquido NH.sub.3 /HF/MFz come lo spreco liquido fonda. Il processo ulteriore prevede riduzione o l'eliminazione della fusione dello spreco del liquido NH.sub.3 /HF/MFz prodotta dal reattore.
