The present invention aims to provide exhaust gas treatment processes and
systems capable of efficiently treating perfluoro-compounds (PFCs) for a
long period. It also aims to provide exhaust gas treatment processes and
systems capable of efficiently treating oxidizing gases such as F.sub.2,
Cl.sub.2 and Br.sub.2 ; acidic gases such as HF, HCl, HBr, SiF.sub.4,
SiCl.sub.4, SiBr.sub.4 and COF.sub.2 ; and CO in addition to PFCs.
In order to attain these objects, an exhaust gas treatment process of the
present invention is a process for treating an exhaust gas containing a
fluorine-containing compound with a catalyst after solids in said exhaust
gas have been separated, said catalyst being a .gamma.-alumina having a
crystal structure showing diffraction lines having an intensity of 100 or
more at the following five diffraction angles 2.theta.:
33.degree..+-.1.degree., 37.degree..+-.1.degree., 40.degree..+-.1.degree.,
46.degree..+-.1.degree. and 67.degree..+-.1.degree. measured by an X-ray
diffractometer. An exhaust gas treatment process according to a preferred
embodiment of the present invention is characterized in that at least one
decomposition-assisting gas selected from H.sub.2, O.sub.2 and H.sub.2 O
is further added to the exhaust gas.
Η παρούσα εφεύρεση στοχεύει να παρέχει τις διαδικασίες και τα συστήματα επεξεργασίας εξάτμισης αέριο ικανές αποτελεσματικά τις περφλuορο-ενώσεις (PFCs) για μια μεγάλη περίοδο. Στοχεύει επίσης να παρέχει τις διαδικασίες και τα συστήματα επεξεργασίας εξάτμισης αέριο ικανές αποτελεσματικά τα οξειδωτικά αέρια όπως F.sub.2, Cl.sub.2 και Br.sub.2 όξινα αέρια όπως το HF, HCl, HBr, SiF.sub.4, SiCl.sub.4, SiBr.sub.4 και COF.sub.2 και κοβάλτιο εκτός από PFCs. Προκειμένου να επιτευχθεί αυτά τα αντικείμενα, μια διαδικασία επεξεργασίας εξάτμισης αέριο της παρούσας εφεύρεσης είναι μια διαδικασία για μια εξάτμιση που περιέχει αέριο μια fluorine-containing ένωση με έναν καταλύτη αφότου έχουν χωριστεί τα στερεά στην εν λόγω εξάτμιση αέριο, εν λόγω καταλύτης που είναι μια γαμμα.-αλουμίνα που έχει μια δομή κρυστάλλου που παρουσιάζει γραμμές διάθλασης που έχουν μια ένταση 100 ή περισσότερους στις ακόλουθες πέντε γωνίες 2.theta. διάθλασης: 33.degree..+-.1.degree., 37.degree..+-.1.degree., 40.degree..+-.1.degree., 46.degree..+-.1.degree. και 67.degree..+-.1.degree. που μετριούνται από ένα των ακτίνων X diffractometer. Μια διαδικασία επεξεργασίας εξάτμισης αέριο σύμφωνα με μια προτιμημένη ενσωμάτωση της παρούσας εφεύρεσης χαρακτηρίζεται σε εκείνη την τουλάχιστον μια αποσύνθεση-ενίσχυση που επιλέγεται αέριο από H.sub.2, O.sub.2 και H.sub.2 ο προστίθενται περαιτέρω στην εξάτμιση αέριο.
