Method and apparatus for thin film thickness mapping

   
   

An apparatus and method for mapping film thickness of one or more textured polycrystalline thin films. Multiple sample films of known thickness are provided. Each sample film is irradiated by x-ray at a measurement point to generate a diffraction image that captures a plurality of diffraction arcs. Texture information (i.e., pole densities) of the sample film, is calculated based on incomplete pole figures collected on the diffraction image and used to correct the x-ray diffraction intensities from such sample. The corrected diffraction intensities are integrated for each sample film, and then used for constructing a calibration curve that correlates diffraction intensities with respective known film thickness of the sample films. The film thickness of a textured polycrystalline thin film of unknown thickness can therefore be mapped on such calibration curve, using a corrected and integrated diffraction intensity obtained for such thin film of unknown thickness.

Um instrumento e um método para traçar a espessura de película de uma ou de mais textured películas finas polycrystalline. As películas múltiplas da amostra da espessura sabida são fornecidas. Cada película da amostra irradiated pelo raio X em um ponto da medida para gerar uma imagem do diffraction que capture um plurality de arcos do diffraction. Texture a informação (isto é, densidades do pólo) da película da amostra, é calculado baseou nas figuras incompletas do pólo coletadas na imagem do diffraction e usadas corrigir as intensidades do diffraction de raio X de tal amostra. As intensidades corrigidas do diffraction são integradas para cada película da amostra, e usado então para construir uma curva de calibração que correlacione intensidades do diffraction com a espessura de película sabida respectiva da amostra filma. A espessura de película de uma película fina polycrystalline textured de espessura desconhecida pode conseqüentemente ser traçada em tal curva de calibração, usando uma intensidade corrigida e integrada do diffraction obtida para tal película fina de espessura desconhecida.

 
Web www.patentalert.com

< Method of performing geometric measurements on digital radiological images

< System and method for mitigating image noise with multi-energy image decomposition

> Collimation system for dual slice EBT scanner

> Image data compression employing optimal subregion compression

~ 00131