An apparatus and method for mapping film thickness of one or more textured
polycrystalline thin films. Multiple sample films of known thickness are
provided. Each sample film is irradiated by x-ray at a measurement point
to generate a diffraction image that captures a plurality of diffraction
arcs. Texture information (i.e., pole densities) of the sample film, is
calculated based on incomplete pole figures collected on the diffraction
image and used to correct the x-ray diffraction intensities from such
sample. The corrected diffraction intensities are integrated for each
sample film, and then used for constructing a calibration curve that
correlates diffraction intensities with respective known film thickness of
the sample films. The film thickness of a textured polycrystalline thin
film of unknown thickness can therefore be mapped on such calibration
curve, using a corrected and integrated diffraction intensity obtained for
such thin film of unknown thickness.
Um instrumento e um método para traçar a espessura de película de uma ou de mais textured películas finas polycrystalline. As películas múltiplas da amostra da espessura sabida são fornecidas. Cada película da amostra irradiated pelo raio X em um ponto da medida para gerar uma imagem do diffraction que capture um plurality de arcos do diffraction. Texture a informação (isto é, densidades do pólo) da película da amostra, é calculado baseou nas figuras incompletas do pólo coletadas na imagem do diffraction e usadas corrigir as intensidades do diffraction de raio X de tal amostra. As intensidades corrigidas do diffraction são integradas para cada película da amostra, e usado então para construir uma curva de calibração que correlacione intensidades do diffraction com a espessura de película sabida respectiva da amostra filma. A espessura de película de uma película fina polycrystalline textured de espessura desconhecida pode conseqüentemente ser traçada em tal curva de calibração, usando uma intensidade corrigida e integrada do diffraction obtida para tal película fina de espessura desconhecida.
