A diode-pumped, solid-state laser (52) of a laser system (50) provides
ultraviolet Gaussian output (54) that is converted by a diffractive
optical element (90) into shaped output (94) having a uniform irradiance
profile. A high percentage of the shaped output (94) is focused through an
aperture of a mask (98) to provide imaged to provide imaged shaped output
(118). The laser system (50) facilitates a method for increasing the
throughput of a via drilling process over that available with an analogous
clipped Gaussian laser system. This method is particularly advantageous
for drilling blind vias (20b) that have better edge, bottom, and taper
qualities than those produced by a clipped Gaussian laser system. An
alternative laser system (150) employs a pair of beam diverting
galvanometer mirrors (152, 154) that directs the Gaussian output around a
shaped imaging system (70) that includes a diffractive optical element
(90) and a mask (98). Laser system (150) provides a user with the option
of using either a Gaussian output or an imaged shaped output (118).
Een diode-gepompte, in vaste toestand laser (52) van een lasersysteem (50) verstrekt ultraviolette Gaussian output (54) die door een diffractive optisch element (90) in gestalte gegeven output (94) omgezet wordt die een eenvormig irradiance profiel hebben. Een hoog percentage van gestalte gegeven output (94) wordt geconcentreerd door een opening van een masker (98) imaged verstrekken om imaged gestalte gegeven output (118) te verstrekken. Lasersysteem (50) vergemakkelijkt een methode om de productie van a via het boren proces over dat te verhogen beschikbaar met een analoog geknipt Gaussian lasersysteem. Deze methode is bijzonder voordelig voor het boren blinde vias (20b) die betere rand, bodem hebben, en spitse kwaliteiten dan die geproduceerd door een geknipt Gaussian lasersysteem. Een alternatief lasersysteem (150) wendt een paar van straal aan die galvanometerspiegels afleidt (152, 154) dat de Gaussian output rond een gestalte gegeven weergavesysteem (70) leidt dat een diffractive optisch element (90) en een systeem van de masker(98). Laser (150) omvat voorzien een gebruiker van de optie om of een Gaussian output of een imaged gestalte gegeven output (118) te gebruiken.
