Method and device for holding optical member, optical device, exposure apparatus, and device manufacturing method

   
   

A flange portion is provided to at least a part of the periphery at the center position in the direction of the optical axis of a lens. The lens is held with clamping members and a lens holding metallic part, with the flange portion pressed by the clamping members. The portion where the flange portion is provided, suffers no compressive strain and tensile strain due to the bending of the lens, and is a part of the periphery of a neutral plane, which is the farthest plane from the optical surface of the lens. Therefore, the influence of the clamping force on the flange portion acting on other portions of the lens is reduced to the utmost, and the deformation of the optical surface due to the force acting on the flange portion is reduced to a minimum. As a result, the deterioration of the optical properties of the lens can be suppressed to the utmost.

Una parte della flangia è fornita almeno ad una parte della periferia alla posizione centrale nel senso dell'asse ottico di un obiettivo. L'obiettivo è tenuto con la pressione i membri e della parte metallica della tenuta dell'obiettivo, con la parte della flangia premuta dai membri di pressione. La parte in cui la parte della flangia è fornita, non soffre sforzo compressivo e lo sforzo di tensione dovuto la piegatura dell'obiettivo ed è una parte della periferia di un aereo neutro, che è l'aereo più lontano dalla superficie ottica dell'obiettivo. Di conseguenza, l'influenza della forza di pressione sulla parte della flangia che si comporta su altre parti dell'obiettivo è ridotta al massimo e la deformazione della superficie ottica dovuto la forza che si comporta sulla parte della flangia è ridotta ad un minimo. Di conseguenza, il deterioramento delle proprietà ottiche dell'obiettivo può essere soppresso al massimo.

 
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