An optical displacement-measuring apparatus has a scale on which optical
gratings are formed along a first axis and a second axis. It also has a
sensor head arranged opposite to the scale and relatively movable along
the first and second axes. The sensor head includes a photosensitive unit
(3) for optically detecting a relative movement to provide a displacement
signal. The photosensitive unit (3) includes a transparent substrate (30).
A photosensitive device array (PDAy) is formed with a semiconductor film
deposited on the substrate (30) and arrayed along the first axis at a
certain pitch for providing a displacement signal corresponding to a
displacement along the first axis. A photosensitive device array (PDAx) is
formed with a semiconductor film deposited on the photosensitive device
array (PDAy) sandwiching an insulator layer therebetween and arrayed along
the second axis at a certain pitch for providing a displacement signal
corresponding to a displacement along the second axis.
Um instrumento demedição ótico tem uma escala em que os gratings óticos são dados forma ao longo de uma primeira linha central e de uma segunda linha central. Tem também uma cabeça do sensor arranjou o oposto à escala e relativamente móvel ao longo dos primeiros e segundos machados. A cabeça do sensor inclui uma unidade photosensitive (3) para ótica detectar um movimento relativo para fornecer um sinal do deslocamento. A unidade photosensitive (3) inclui uma carcaça transparente (30). Uma disposição do dispositivo photosensitive (PDAy) é dada forma com uma película do semicondutor depositada na carcaça (30) e posta ao longo da primeira linha central em um determinado passo para fornecer um sinal do deslocamento que corresponde a um deslocamento ao longo da primeira linha central. Uma disposição do dispositivo photosensitive (PDAx) é dada forma com uma película do semicondutor depositada na disposição do dispositivo photosensitive (PDAy) que imprensa uma camada do isolador therebetween e pôs ao longo da segunda linha central em um determinado passo para fornecer um sinal do deslocamento que corresponde a um deslocamento ao longo da segunda linha central.
