A spectroscopic ellipsometer comprising a light source (1) emitting a light
beam, a polarizer (2) placed on the path of the light beam emitted by the
light source, a sample support (9) receiving the light beam output from
the polarizer, a polarization analyzer (3) for passing the beam reflected
by the sample to be analyzed, a detection assembly which receives the beam
from the analyzer and which comprises a monochromator (5) and a
photodetector (4), and signal processor means (6) for processing the
signal output from said detection assembly, and including counting
electronics (13). Cooling means (12) keep the detection assembly at a
temperature below ambient temperature, thereby minimizing detector noise
so as to remain permanently under minimum photon noise conditions. It is
shown that the optimum condition for ellipsometric measurement is obtained
by minimizing all of the sources of noise (lamps, detection, ambient).
Ein spektralanalytisches ellipsometer, das eine Lichtquelle (1) ausstrahlt einen Lichtstrahl, ein Polarisator (2) enthält, setzte auf den Weg des Lichtstrahls, der durch die Lichtquelle, eine Beispielunterstützung ausgestrahlt wurde (9), die den Lichtstrahl empfängt, der vom Polarisator, ein Polarisationanalysator (3) für das Führen des Lichtstrahls ausgegeben wurde, der durch die analysiert zu werden reflektiert wurde Probe, eine Abfragung, die den Lichtstrahl vom Analysator empfängt und die einen Monochromator (5) und einen Photodetektor (4) enthält, und Signalprozessor bedeutet (6) für die Verarbeitung des Signals, das von besagter Abfragung ausgegeben wird, und das Einschließen, Elektronik (13) zählend. Abkühlende Mittel (12) halten die Abfragung bei einer Temperatur unterhalb der umgebenden Temperatur, dadurch sieherabsetzen sieherabsetzen Detektorgeräusche, um unter minimalen Photongeräuschbedingungen dauerhaft zu bleiben. Es wird gezeigt, daß die optimale Bedingung für ellipsometric Maß erreicht wird, indem man alle Quellen der Geräusche herabsetzt (die Lampen, Abfragung, umgebend).
