A confocal imaging system is equipped with a retroreflector, which
oscillates with a high frequency, for increasing the data rate during the
recording of distance values. A mirror system having a small mass is
provided that, by use of an electrostatic drive, makes extremely rapid
focusing movements or height detections possible in the case of a small
mass. The mirror system includes two separate micromechanically produced
mirrors, which are set at 90.degree. to one another and which
synchronously oscillate in the direction of the optical axis of the
confocal imaging system.
Een confocal weergavesysteem is uitgerust met retroreflector, die met een hoge frequentie, voor het verhogen van het gegevenstarief tijdens de opname van afstandswaarden oscilleert. Een spiegelsysteem dat een kleine massa heeft wordt verstrekt die, door middel van een elektrostatische aandrijving, uiterst snelle concentrerende bewegingen of hoogteopsporingen in het geval van een kleine massa mogelijk maakt. Het spiegelsysteem omvat twee scheidt micromechanically geproduceerde spiegels, die bij 90.degree. aan elkaar worden geplaatst en die synchroon in de richting van de optische as van het confocal weergavesysteem oscilleren.
