An integrated convective accelerometer device. The device includes a
thermal acceleration sensor having a thermopile and a heater element;
control circuitry for providing closed-loop control of the thermopile
common-mode voltage; an instrumentation amplifier; clock generation
circuitry; voltage reference circuitry; a temperature sensor; and, output
amplifiers. The device can be operated in an absolute or ratiometric mode.
Further, the device is formed in a silicon substrate using standard
semiconductor processes and is packaged in a standard integrated circuit
package.
Een geïntegreerd convectieversnellingsmeterapparaat. Het apparaat omvat een thermische versnellingssensor die een thermozuil en een verwarmerelement heeft; controle schakelschema voor het verstrekken van closed-loop controle van het voltage van de thermozuil gemeenschappelijk-wijze; een instrumentatieversterker; het schakelschema van de klokgeneratie; het schakelschema van de voltageverwijzing; een temperatuursensor; en, outputversterkers. Het apparaat kan op een absolute of ratiometric wijze worden in werking gesteld. Verder, wordt het apparaat gevormd in een siliciumsubstraat gebruikend standaardhalfgeleiderprocessen en in een standaardpakket van geïntegreerde schakelingen verpakt.
