Interferometric apparatus and methodology for monitoring the relative
motion among objects, preferably that of mask and wafer stages in
photolithographic processes. The apparatus comprises a plurality of
interferometers with each operating to provide a mixed optical
interference signal containing phase information indicative of the motion
of a corresponding object. Electrical interference signals are generated
from the optical interference signals, and one of these is modified to
compensate for any Doppler shift differences among the electrical
interference signals caused by differences in preferred relative rates of
motion in the objects. A mixer receives the electrical interference
signals and the modified electrical interference signal and generates an
output electrical interference signal containing information about the
relative motion between objects. In another aspect of the invention the
plurality of interferometers are configured to optically compensate for
any Doppler shift differences among the mixed optical interference
signals.
Interferometric apparaten en methodologie voor de controle van de relatieve motie onder voorwerpen, bij voorkeur dat van masker en wafeltjestadia in photolithographic processen. Het apparaat bestaat uit een meerderheid van interferometers met elk die werkt een gemengd optisch interferentiesignaal te verstrekken dat faseinformatie indicatief van de motie van een overeenkomstig voorwerp bevat. De elektro interferentiesignalen worden geproduceerd van de optische interferentiesignalen, en één hiervan wordt gewijzigd om om het even welke de verschuivingsverschillen van Doppler onder de elektrointerferentiesignalen te compenseren die door verschillen in aangewezen relatieve tarieven van motie in de voorwerpen worden veroorzaakt. Een mixer ontvangt de elektrointerferentiesignalen en het gewijzigde elektrointerferentiesignaal en produceert een signaal dat van de output elektrointerferentie informatie over de relatieve motie tussen voorwerpen bevat. In een ander aspect van de uitvinding wordt de meerderheid van interferometers gevormd om om het even welke de verschuivingsverschillen van Doppler onder de gemengde optische interferentiesignalen optisch te compenseren.
