Further improvements in circuit-element performance of surface-acoustic
wave devices are anticipated by being able to produce a diamond substrate
on which is formed a Li(Nb.sub.x Ta.sub.1-x)O.sub.3 (wherein
0.ltoreq.x.ltoreq.1) thin film whose c-axis orientation is favorable and
whose piezoelectric characteristics are satisfactory. A diamond substrate
on which a highly c-axis oriented, piezoelectrically satisfactory
Li(Nb.sub.x Ta.sub.1-x)O.sub.3 (wherein 0.ltoreq.x.ltoreq.1) thin film is
formed can be obtained by using a laser ablation technique to form a
Li(Nb.sub.x Ta.sub.1-x)O.sub.3 (wherein 0.ltoreq.x.ltoreq.1) thin film
onto a (110)-oriented gas-phase synthesized polycrystalline diamond
substrate, that is superficially mirror-surface processed. By utilizing a
diamond substrate on which a piezoelectric-substance thin film is formed,
surface-acoustic wave devices having high propagation speeds can be
offered.
Weitere Verbesserungen in der Stromkreis-Element Leistung der Oberfläche-akustischen Welle Vorrichtungen werden vorweggenommen indem man ist, ein Diamantsubstrat zu produzieren, auf dem wird einem Li(Nb.sub.x Ta.sub.1-x)O.sub.3 (worin 0.ltoreq.x.ltoreq.1) Dünnfilm gebildet, dessen Cmittellinie Lagebestimmung vorteilhaft ist und dessen piezoelektrische Eigenschaften zufriedenstellend sind. Ein Diamantsubstrat, auf dem eine sich in hohem Grade Cmittellinie orientierte, piezoelectrically zufriedenstellendes Li(Nb.sub.x Ta.sub.1-x)O.sub.3 (worin 0.ltoreq.x.ltoreq.1), das Dünnfilm gebildet wird, kann durch das Verwenden einer Laser Entfernung Technik erreicht werden, um einen Li(Nb.sub.x Ta.sub.1-x)O.sub.3 (worin 0.ltoreq.x.ltoreq.1) Dünnfilm auf a zu bilden (synthetisiertes polykristallines Gasphasensubstrat des Diamanten 110)-oriented, das oberflächlich die verarbeitete Spiegel-Oberfläche ist. Indem man ein Diamantsubstrat verwendet, auf dem ein Piezoelektrischsubstanz Dünnfilm gebildet wird, können die Oberfläche-akustischen Welle Vorrichtungen, die hohe Ausbreitunggeschwindigkeiten haben, angeboten werden.
