Method and apparatus for automatically optically inspecting electrical
circuits by matching portions of an electrical circuit being inspected to
corresponding portions in a reference, wherein an adaptive spatial
tolerance representing a permissible deviation in the location of
corresponding portions is applied to a portion. The spatial tolerances for
each portion is in part a function of a characteristic of the portion, for
example one or more of: the proximity of the portion to other portions of
predetermined type, a spatial location of the portion in an electrical
circuit, a material from which the portion is formed, the color of the
portion and the intensity of light reflected by the portion. Non-defective
matching portions an electrical circuit being inspected and in a reference
must be separated by a distance which is less than the adaptive spatial
tolerance.
Methode en apparaten om automatisch elektrokringen optisch te inspecteren door gedeelten van een elektrokring die aan overeenkomstige gedeelten in een verwijzing aan te passen wordt geïnspecteerd, waarin een aanpassings ruimtetolerantie die een toelaatbare afwijking in de plaats van overeenkomstige gedeelten vertegenwoordigt wordt toegepast op een gedeelte. De ruimtetolerantie voor elk gedeelte is voor een deel een functie van een kenmerk van het gedeelte, bijvoorbeeld één of meer van: de nabijheid van het gedeelte aan andere gedeelten van vooraf bepaald type, een ruimteplaats van het gedeelte in een elektrokring, een materiaal waarvan het gedeelte wordt gevormd, de kleur van het gedeelte en de intensiteit van licht door het gedeelte weerspiegeld. De niet gebrekkige passende gedeelten een elektrokring die en in een verwijzing wordt geïnspecteerd moeten door een afstand worden gescheiden die minder dan de aanpassings ruimtetolerantie is.
