A vacuum pump is capable of preventing reaction products produced by a
process gas from being precipitated in the pump, of holding various pump
components in an allowable temperature range, and hence of operating in a
wide operation range, and which has increased durability. The vacuum pump
has a pump casing having an intake port and an exhaust port, an exhaust
assembly disposed in the pump casing and having a rotor and a stator, and
a heating unit for heating a stator side component of the exhaust assembly
positioned near the exhaust port. The heating unit is disposed in a space
inside the pump casing where is evacuated during operation, and held in
contact with at least a portion of the stator side component of the
exhaust assembly positioned near the exhaust port.
Uma bomba de vácuo é capaz de impedir que os produtos da reação produzidos por um gás process precipitated na bomba, de prender vários componentes da bomba em uma escala de temperatura permissível, e daqui de operar-se em uma escala larga da operação, e que aumentou a durabilidade. A bomba de vácuo tem uma embalagem da bomba ter um porto de entrada e um porto da exaustão, um conjunto da exaustão dispostos na bomba que encaixota e que tem um rotor e um estator, e uma unidade de heating para aquecer um componente do lado do estator do conjunto da exaustão posicionado perto do porto da exaustão. A unidade de heating é disposta em um espaço dentro da embalagem da bomba onde é evacuado durante a operação, e prendido no contato com ao menos uma parcela do componente do lado do estator do conjunto da exaustão posicionado perto do porto da exaustão.
