Device and method for producing a calcium-rich getter thin film

   
   

An improved getter device and method for forming a calcium-rich getter thin film in an electronic vacuum device is disclosed. The getter device includes a powder of a Ca--Ba--Al ternary alloy composed of between 53% and 56.8% by weight of aluminum, from 36% to 41.7% by weight of calcium and from 1.5% to 11% by weight of barium. The method allows the formation of a calcium-rich getter thin film with a substantially reduced amount of released hydrogen in the vacuum device.

Eine verbesserte Gettervorrichtung und -methode für die Formung eines Dünnfilms des Kalzium-reichen Getter in einer elektronischen Vakuumvorrichtung wird freigegeben. Die Gettervorrichtung schließt ein Puder eines CA -- Ba -- die dreifache Legierung des Als mit ein, die aus zwischen 53% und 56.8% nach Gewicht Aluminium, von 36% bis 41.7% nach Gewicht Kalzium und von 1.5% bis 11% nach Gewicht Barium besteht. Die Methode erlaubt die Anordnung eines Dünnfilms des Kalzium-reichen Getter mit einer im wesentlichen verringerten Menge freigegebenem Wasserstoff in der Vakuumvorrichtung.

 
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