The present invention comprises a method and apparatus for classifying
edges for implementing mask corrections. In one embodiment,
classifications are based upon proximity ranges bounded on one side only.
Before classifying an edge in a first class based on a first proximity
range, it is verified that the classification will produce a correction
satisfying a minimum manufacturable length. If the prescribed correction
for the first class does produce a correction satisfying the minimum
manufacturable length, the edge is classified in a second class
corresponding to a second proximity range to produce, in combination with
an adjacent edge also in the second class, manufacturable correction. The
number of mask corrections implemented in a mask design is thus increased
while ensuring that all mask corrections meet guidelines for
manufacturability and reducing required clean-up of nonmanufacturable
corrections in the design.
Присытствыющий вымысел состоит из метода и прибора для классифицировать края для снабжать коррекции маски. В одном воплощении, классифицирования основаны на прыгнутых рядах близости на одной стороне только. Перед классифицировать край в первом типе основанном на первом ряде близости, подтвержено что классифицирование произведет коррекцию удовлетворяя минимальная manufacturable длина. Если предписанная коррекция для первого типа производит коррекцию удовлетворяя минимальная manufacturable длина, то край расклассифицирован в втором типе соответствуя к второму ряду близости к продукции, in combination with смежный край также в втором типе, manufacturable коррекции. Число коррекций маски снабженных в конструкции маски таким образом увеличен пока обеспечивающ что все коррекции маски встречают директивы для manufacturability и уменьшения необходимы clean-up nonmanufacturable коррекций в конструкции.
