A spatial light modulator includes an upper optically transmissive
substrate held above a lower substrate containing addressing circuitry.
One or more electrostatically deflectable elements are suspended by hinges
from the upper substrate. In operation, individual mirrors are selectively
deflected and serve to spatially modulate light that is incident to, and
the reflected back through, the upper substrate. Motion stops may be
attached to the reflective deflectable elements so that the mirror does
not snap to the bottom substrate. Instead, the motion stop rests against
the upper substrate thus limiting the deflection angle of the reflective
deflectable elements.
Un modulador ligero espacial incluye un substrato transmissive del alto ópticamente sostenido sobre un substrato más bajo que contiene tratando el trazado de circuito. Unos o más elementos electrostático deflectable son suspendidos por las bisagras del substrato superior. En la operación, los espejos individuales se desvían selectivamente y servicio espacial para modular la luz a la cual es el incidente, y reflejado detrás a través, el substrato superior. Las paradas del movimiento se pueden unir a los elementos deflectable reflexivos de modo que el espejo no se encaje a presión al substrato inferior. En lugar, la parada del movimiento se reclina contra el substrato superior que limita así el ángulo de la desviación de los elementos deflectable reflexivos.
