A multi-gun FIB system for nanofabrication provides increased throughput at
reduced cost while maintaining resolution. Multiple guns are maintained in
modular gun chambers that can be vacuum isolated from the primary vacuum
chamber containing the targets. A system can include multiple gun
chambers, each of which van include multiple guns, with each gun chamber
being capable of being vacuum isolated, so that each gun chamber can be
removed and replaced without disturbing the vacuum in other gun chambers
or in the main chamber. An optical column is associated with each gun.
Optical elements for multiple columns can be formed in a bar that extends
into several columns. Some of the optical elements are positioned in the
gun chambers and others are positioned in the primary vacuum chamber. A
through-the-lens secondary particle collection can be used in connection
with each of the individual columns.
Ένα FIB πολυ-πυροβόλων όπλων σύστημα για nanofabrication παρέχει την αυξανόμενη ρυθμοαπόδοση με μειωμένο κόστος διατηρώντας το ψήφισμα. Τα πολλαπλάσια πυροβόλα όπλα διατηρούνται στις μορφωματικές αίθουσες πυροβόλων όπλων που να είναι κενές που απομονώνονται μπορούν από την αρχική κενή αίθουσα που περιέχει τους στόχους. Ένα σύστημα μπορεί να περιλάβει τις πολλαπλάσιες αίθουσες πυροβόλων όπλων, κάθε μια από τις οποίες το φορτηγό περιλαμβάνει τα πολλαπλάσια πυροβόλα όπλα, με κάθε αίθουσα πυροβόλων όπλων που είναι ικανή κενή απομονωμένη, έτσι ώστε κάθε αίθουσα πυροβόλων όπλων μπορεί να αφαιρεθεί και να αντικατασταθεί χωρίς διατάραξη του κενού σε άλλες αίθουσες πυροβόλων όπλων ή στην κύρια αίθουσα. Μια οπτική στήλη συνδέεται με κάθε πυροβόλο όπλο. Τα οπτικά στοιχεία για τις πολλαπλάσιες στήλες μπορούν να διαμορφωθούν σε έναν φραγμό που επεκτείνεται σε διάφορες στήλες. Μερικά από τα οπτικά στοιχεία τοποθετούνται στις αίθουσες πυροβόλων όπλων και άλλα τοποθετούνται στην αρχική κενή αίθουσα. Μια δευτεροβάθμια συλλογή μορίων μέσω-ο-φακών μπορεί να χρησιμοποιηθεί σχετικά με κάθε μια από τις μεμονωμένες στήλες.
