An illumination apparatus includes an inner-surface reflecting type
integrator, an optical system for directing a beam from a light source to
a portion of incidence of the inner-surface reflecting type integrator, an
wave-front splitting type integrator, an image-forming optical system for
arranging the portion of incidence of the inner-surface reflecting type
integrator approximately conjugate with a portion of incidence of the
wave-front splitting type integrator, and for directing a beam from the
beam mixer to the wave-front splitting type integrator, and an irradiating
optical system for superimposing multiple beams from the wave-front
splitting type integrator on a plane to be irradiated, wherein a stop is
provided at or near the portion of exit of the inner-surface reflecting
type integrator.
Un appareillage d'illumination inclut un type se reflétant l'intégrateur, un système optique d'intérieur-surface pour diriger un faisceau d'une source lumineuse vers une partie de l'incidence du type se reflétant intégrateur, un type se dédoublant l'intégrateur, un système optique deformation d'intérieur-surface de front des ondes pour arranger la partie de l'incidence du type se reflétant d'intérieur-surface conjugé d'intégrateur approximativement avec une partie de l'incidence du type se dédoublant intégrateur de front des ondes, et pour diriger un faisceau du mélangeur de faisceau vers le type se dédoublant intégrateur de front des ondes, et un système optique d'irradiation pour superposer les faisceaux multiples du type se dédoublant intégrateur de front des ondes à un avion à irradier, où un arrêt est fourni ou près derrière la partie de la sortie de le type se reflétant intégrateur d'intérieur-surface.
