The present invention provides for a method and an apparatus for
implementing a control simulation environment into a manufacturing
environment. A process task is defined. A process simulation function is
performed to produce simulation data corresponding to the process task.
The simulation data is integrated with a process control environment for
controlling a manufacturing process of a semiconductor device.
La actual invención preve un método y un aparato para poner un ambiente de la simulación en ejecucio'n del control en un ambiente de fabricación. Se define una tarea de proceso. Una función de proceso de la simulación se realiza para producir los datos de la simulación que corresponden a la tarea de proceso. Los datos de la simulación se integran con un ambiente del control de proceso para controlar un proceso de fabricación de un dispositivo de semiconductor.
