A plurality of mesoscale MEMS switches each share a common control voltage
potential electrode (such as ground). So configured, a large number of
switches can be provided without incurring a significant increase in
required actuation voltage. Such switches can be inter-coupled in a
variety of ways. In addition, in one embodiment, stacked switches can be
provided. If desired, such stacked switches can share a common movable
conductive switch element.
Eine Mehrzahl von mesoscale MEMS schaltet jeden Anteil eine allgemeine Steuerspannung mögliche Elektrode (wie Boden). So zusammengebaut, können viele Schalter zur Verfügung gestellt werden, ohne auf eine bedeutende Zunahme der erforderlichen Betätigung Spannung sich zu nehmen. Solche Schalter können in einer Vielzahl von Weisen Zwischen-verbunden werden. Zusätzlich in einer Verkörperung, können Stapelschalter zur Verfügung gestellt werden. Wenn sie gewünscht werden, können solche Stapelschalter ein allgemeines bewegliches leitendes Schalterelement teilen.
