A method for forming bottle-shaped trenches. First, a substrate is
provided. Next, a hard mask with openings is formed on the substrate. The
substrate is etched through the openings to form trenches with an upper
portion and a lower portion. An isolated layer is formed conformally on
the hard mask and in the trenches. A shield layer is formed in the lower
portion of the trenches. A part of the insulating layer, which is not
covered by the shield layer, is then removed. A protective layer is formed
on the upper portion of the trenches. The shield layer and the isolated
layer are removed. Finally, the substrate of the lower part of the
trenches is wet etched using the protective layer as a mask so as to form
bottle-shaped trenches.
Um método para dar forma a trincheiras frasco-dadas forma. Primeiramente, uma carcaça é fornecida. Em seguida, uma máscara dura com aberturas é dada forma na carcaça. A carcaça é gravada com as aberturas para dar forma a trincheiras com uma parcela superior e uma parcela mais baixa. Uma camada isolada é dada forma conformally na máscara dura e nas trincheiras. Uma camada do protetor é dada forma na parcela mais baixa das trincheiras. Uma parte da camada isolando, que não é coberta pela camada do protetor, é removida então. Uma camada protetora é dada forma na parcela superior das trincheiras. A camada do protetor e a camada isolada são removidas. Finalmente, a carcaça da parte mais inferior das trincheiras está molhada gravada usando a camada protetora como uma máscara para dar forma a trincheiras frasco-dadas forma.
