Disclosed are multi-element lenses which demonstrate reduced achromatic
focal length and reduced electromagentic beam spot size dispersal effects
in ellipsometer and polarimeter systems. Also disclosed is methodology for
evaluating parameters in parameterized equations which enables calculating
retardance entered to, or between, orthogonal components in a beam of
electromagnetic radiation which is caused to pass through input and/or
output optical elements and interact with a material system, by each of
the input and output optical elements, substantially uncorrelated with
retardation entered by the material system. Present invention input and/or
output focusing lens(es) find application in spectroscopic ellipsometer
mediated investigation of small spots on material systems, wherein a beam
of electromagnetic radiation is caused to converge via an input lens,
interact with a very small, chromatically undispersed spot area on a
material system, then optionally re-collimate via an output lens, prior to
entering a detector system. Present invention methodology provides benefit
where it is necessary to separate out birefringent effects of input and/or
output optical element focusing lens(es), optionally in combination with
beam directing and/or window elements present in an ellipsometer system
which are positioned with respect to input and/or output len(es) so as to
be ellipsometrically indistinguishable therefrom, to arrive at material
system characterizing ellipsometric PSI and DELTA results.
Onthuld worden multi-element lenzen die verminderde achromatische brandpuntslengte en de verminderde electromagentic gevolgen van de de grootteverspreiding van de straalvlek in ellipsometer en polarimetersystemen aantonen. Ook onthuld wordt de methodologie voor de evaluatie van parameters in de parameters bepaalde van vergelijkingen die het berekenen achterstand ingegaan aan toelaat, of tussen, orthogonal componenten in een straal van elektromagnetische straling die om door input en/of output optische elementen wordt veroorzaakt over te gaan en met een materieel systeem, door elk van de input en wezenlijk uncorrelated output optische elementen, met vertraging in wisselwerking te staan ingegaan door het materiële systeem. De onderhavige ingevoerde uitvinding en/of de output die lens (es) concentreert vinden toepassing in spectroscopisch ellipsometer bemiddeld onderzoek van kleine vlekken op materiële systemen, waarin een straal van elektromagnetische straling om via een inputlens wordt veroorzaakt samen te komen, met zeer klein in wisselwerking staan, undispersed chromatisch vlekgebied op een materieel systeem, dan naar keuze re-collimeren via een outputlens, voorafgaand aan het ingaan van een detectorsysteem. De huidige uitvindingsmethodologie levert voordeel op waar het noodzakelijk is om uit dubbelbrekende gevolgen van input te scheiden en/of output optisch element dat lens (es), naar keuze in combinatie met van het straal het leiden en/of venster elementen huidig in een ellipsometersysteem die concentreert met betrekking tot input en/of output len (es) worden geplaatst om ellipsometrically daarvan niet te onderscheiden te zijn, om bij materieel systeem aan te komen dat ellipsometrisch psi en DELTARESULTATEN kenmerkt.
