An optical waveguide platform and a manufacturing method thereof are
provided. In the provided optical waveguide platform, a terrace on which
an optical device is mounted is formed by using an etch stopper pattern
formed on a lower clad layer. Therefore, the optical device is mounted
without processing a silicon substrate. In addition, in the provided
optical waveguide platform, the etch stopper pattern is formed on the
lower clad layer to prevent defocus in a photolithography process due to
an etch step, so as not to damage a fine waveguide pattern. Moreover, an
optical waveguide is formed on the terrace in manufacturing the optical
waveguide platform to examine the characteristics of the optical waveguide
device before etching a trench.
Μια οπτική πλατφόρμα κυματοδηγού και μια μέθοδος κατασκευής επ' αυτού παρέχονται. Στην παρεχόμενη οπτική πλατφόρμα κυματοδηγού, ένα πεζούλι στο οποίο μια οπτική συσκευή τοποθετείται διαμορφώνεται με τη χρησιμοποίηση χαράζει το σχέδιο πωμάτων που διαμορφώνεται σε ένα χαμηλότερο ντυμένο στρώμα. Επομένως, η οπτική συσκευή τοποθετείται χωρίς επεξεργασία ενός υποστρώματος πυριτίου. Επιπλέον, στην παρεχόμενη οπτική πλατφόρμα κυματοδηγού, χαράξτε το σχέδιο πωμάτων διαμορφώνεται στο χαμηλότερο ντυμένο στρώμα για να αποτρέψει το defocus σε μια διαδικασία φωτολιθογραφίας λόγω χαράζει το βήμα, ώστε να μη βλάψει ένα λεπτό σχέδιο κυματοδηγού. Επιπλέον, ένας οπτικός κυματοδηγός διαμορφώνεται στο πεζούλι στην κατασκευή της οπτικής πλατφόρμας κυματοδηγού για να εξετάσει τα χαρακτηριστικά της οπτικής συσκευής κυματοδηγού πρίν χαράζει μια τάφρο.
