An optically operated test structure for testing the charge transfer
efficiency (CTE) of a charge coupled device (CCD) solid-state image
sensor. A solid-state image sensor includes a substrate of a semiconductor
material of one conductivity type having a surface. A plurality of spaced,
parallel CCDs are in the substrate at the surface. Each CCD includes a
channel region and a plurality of conductive gates extending across and
insulated from the channel region. The conductive gates extend laterally
across the channel regions of all of the CCDs and divide the channel
regions into a plurality of phases and pixels. A drain region of the
opposite conductivity type is in the substrate at the surface and extends
along the channel region of at least one of the CCDs. A simply connected
(rectangular) region of the plurality of spaced, parallel CCDs is
photoactive. The CCDs outside this photoactive region are typically
covered with metal or some other optically opaque material. One or more of
the parallel CCD columns comprise optical test structures at the start and
end of the CCD array and are photoactive. One or more parallel regions are
adjacent and abutting on either side of the test structures; these may or
may not be photoactive. These surrounding, adjacent regions are connected
to a drain on the imager; the drain collects any charge captured in these
adjacent regions. Each of the plurality of spaced, parallel, vertical CCDs
is connected to one or more horizontal CCDs oriented in a direction
perpendicular to the vertical CCDs.
Uma estrutura ótica operada do teste para testar a eficiência de transferência da carga (CTE) de uma carga acoplou o sensor de imagem solid-state do dispositivo (CCD). Um sensor de imagem solid-state inclui uma carcaça de um material do semicondutor de um tipo do conductivity que tem uma superfície. Um plurality de CCDs espaçado, paralelo está na carcaça na superfície. Cada CCD inclui uma região da canaleta e um plurality das portas condutoras que estendem transversalmente e isolado da região da canaleta. As portas condutoras estendem lateralmente através das regiões da canaleta de todo o CCDs e dividem as regiões da canaleta em um plurality das fases e dos pixels. Uma região do dreno do tipo oposto do conductivity está na carcaça na superfície e estende ao longo da região da canaleta ao menos de um do CCDs. Uma região (retangular) simplesmente conectada do plurality de CCDs espaçado, paralelo é photoactive. Os CCDs fora desta região photoactive são cobertos tipicamente com o metal ou algum outro material ótica opaco. Uma ou mais das colunas paralelas do CCD compreendem estruturas óticas do teste no início e o fim da disposição do CCD e são photoactive. Um ou os mais região paralela é adjacente e abutting em um ou outro lado das estruturas do teste; estes podem ou não podem ser photoactive. Este cercar, regiões adjacentes é conectado a um dreno no tonalizador; o dreno coleta toda a carga capturada nestas regiões adjacentes. Cada um do plurality do espaçado, paralela, CCDs vertical é conectado a um ou mais CCDs horizontal orientado em uma perpendicular do sentido ao CCDs vertical.
