Integrated helix coil inductor on silicon

   
   

A new structure and method is provided for the creation of an inductor on the surface of a silicon semiconductor substrate. The inductor is of a helix coil design having upper level and lower level conductors further having an axis whereby the axis of the helix coil of the inductor is parallel to the plane of the underlying substrate. Under the first embodiment of the invention, the height of the helix coil that is created on the surface of a silicon substrate is uniform. Under the second embodiment of the invention the height of the helix coil of the inductor of the invention is uniform while a ferromagnetic core is inserted between the upper and the lower level conductors of the helix coil. Under the third embodiment of the invention, the height of the helix coil that is created on the surface of a silicon substrate is non-uniform. Under the fourth embodiment of the invention the height of the helix coil of the inductor of the invention is non-uniform while a ferromagnetic core is inserted between the upper and the lower level conductors of the helix coil.

Uma estrutura e um método novos são fornecidos para a criação de um indutor na superfície de uma carcaça do semicondutor do silicone. O indutor é de um projeto da bobina da hélice que tem os condutores do nível superior e de um nível mais baixo mais adicionais tendo uma linha central por meio de que a linha central da bobina da hélice do indutor está paralela ao plano da carcaça subjacente. Sob a primeira incorporação da invenção, a altura da bobina da hélice que é criada na superfície de uma carcaça do silicone é uniforme. Sob a segunda incorporação da invenção a altura da bobina da hélice do indutor da invenção é uniforme quando um núcleo ferromagnetic estiver introduzido entre a parte superior e os condutores de um nível mais baixo da hélice bobine. Sob a terceira incorporação da invenção, a altura da bobina da hélice que é criada na superfície de uma carcaça do silicone é non-uniform. Sob a quarta incorporação da invenção a altura da bobina da hélice do indutor da invenção é non-uniform quando um núcleo ferromagnetic estiver introduzido entre a parte superior e os condutores de um nível mais baixo da hélice bobine.

 
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