Disclosed are a method, system and holder for transferring templates during
imprint lithography processes. To that end, a method for handling a
template, having a patterned mold thereon, in an imprint lithography
system having a motion stage with a chucking device coupled thereto,
includes providing the template into a template transfer holder. The
template transfer holder includes a side coupled to the motion stage and
support members extending from the side. The template is disposed within
the template transfer holder so as to have the patterned mold facing the
side and spaced-apart therefrom. Relative movement is created between the
motion stage and an imprint head to place the template transfer holder and
the imprint head in superimposition. The template is removed from the
template transfer holder, and the template is suspended above the wafer
chuck by the imprint head. In another embodiment, a system and a template
holder are described that facilitates the method.
Sono rilevati un metodo, un sistema e un supporto per le mascherine di trasferimento durante i processi di litografia della stampa. A tale scopo, un metodo per il maneggiamento della mascherina, avendo una muffa modellata su ciò, in un sistema di litografia della stampa che ha una fase di movimento con un dispositivo bloccante coppia a ciò, include fornire la mascherina in un supporto di trasferimento della mascherina. Il supporto di trasferimento della mascherina include un lato accoppiato ai membri della fase e di sostegno di movimento che si estendono dal lato. La mascherina è disposta di all'interno del supporto di trasferimento della mascherina in modo da avere la muffa modellata affrontare il lato e è spaziata-a parte da ciò. Il movimento relativo è generato fra la fase di movimento e una testa della stampa per disporre il supporto di trasferimento della mascherina e la testa della stampa nella sovrapposizione. La mascherina è rimossa dal supporto di trasferimento della mascherina e la mascherina è sospesa sopra il mandrino della cialda dalla testa della stampa. In un altro incorporamento, un sistema e un supporto della mascherina sono descritti che facilita il metodo.
