The invention provides systems and methods for the deposition of an
improved diamond-like carbon material, particularly for the production of
magnetic recording media. The diamond-like carbon material of the present
invention is highly tetrahedral, that is, it features a large number of
the sp.sup.3 carbon--carbon bonds which are found within a diamond crystal
lattice. The material is also amorphous, providing a combination of
short-range order with long-range disorder, and can be deposited as films
which are ultrasmooth and continuous at thicknesses substantially lower
than known amorphous carbon coating materials. The carbon protective
coatings of the present invention will often be hydrogenated. In a
preferred method for depositing of these materials, capacitive coupling
forms a highly uniform, selectively energized stream of ions from a dense,
inductively ionized plasma. Such inductive ionization is enhanced by a
relatively slow moving (or "quasi-static") magnetic field, which promotes
resonant ionization and ion beam homogenization.
De uitvinding verstrekt systemen en methodes voor het deposito van een beter diamantachtig koolstofmateriaal, in het bijzonder voor de productie van magnetische opnamemedia. Het diamantachtige koolstofmateriaal van de onderhavige uitvinding is hoogst viervlakkig, namelijk kenmerkt het een groot aantal van de koolstof sp.sup.3 -- koolstofbanden die binnen een rooster van het diamantkristal worden gevonden. Het materiaal is ook amorf, voorziend een combinatie van orde op korte termijn van lange-afstands wanorde, en kan als films worden gedeponeerd die ultrasmooth zijn en ononderbroken bij dikten wezenlijk lager dan de bekende amorfe materialen van de koolstofdeklaag. De koolstof beschermende deklagen van de onderhavige uitvinding zullen vaak gehydrogeneerd worden. In een aangewezen methode voor het deponeren van deze materialen, vormt de capacitieve koppeling een hoogst eenvormige, selectief geactiveerde stroom van ionen van een dicht, inductief geïoniseerd plasma. Dergelijke aanleidinggevende ionisatie wordt verbeterd door een vrij langzaam bewegend (of "quasi-static") magnetisch gebied, dat resonerende ionisatie en ionenstraalhomogenisatie bevordert.
