A substrate processing system includes a process chamber having a process
station for processing a substrate in an ambience different from an
atmosphere, a plurality of load-lock chambers each being connected to the
process chamber through an opening/closing device and connected to the
atmosphere through an opening/closing device, a first conveying device for
conveying the substrate between the process chamber and the load-lock
chambers, and a second conveying device for conveying the substrate
between a supply station in the atmosphere and the load-lock chambers.
Each of the load-lock chambers is arranged so that, prior to replacement
of an ambience inside the load-lock chamber, the substrate is conveyed by
the first conveying device from the load-lock chamber into the process
chamber and then the substrate is conveyed into the load-lock chamber.
Een systeem van de substraatverwerking omvat een proceskamer die een procespost voor de verwerking van een substraat heeft in een sfeer verschillend van een atmosfeer, een meerderheid van lading-slot kamers elk die met de proceskamer door een openings/sluitend apparaat wordt verbonden en verbonden met de atmosfeer door een openings/sluitend apparaat, een eerste vervoerend apparaat om het substraat tussen de proceskamer en de lading-slot kamers te vervoeren, en een tweede vervoerend apparaat om het substraat tussen een leveringspost in de atmosfeer en de lading-slot kamers te vervoeren. Elk van de lading-slot kamers wordt geschikt zodat, voorafgaand aan vervanging van een sfeer binnen de lading-slot kamer, het substraat door het eerste vervoerende apparaat van de lading-slot kamer in de proceskamer wordt vervoerd en dan het substraat in de lading-slot kamer wordt vervoerd.
