A real picked-up image containing an image of a position detection mark 13
is picked up by an image pickup unit 1 and the real picked-up image is
stored in image memory 5 through an interface section 2. A pseudo image on
which change in an image pickup conditions is reflected is generated from
the stored real picked-up image by a CPU 6. When the pseudo image is
moved, an image of the object is detected using a predetermined image
processing parameter at each move position, and a position detection error
of the image of the object relative to the move distance of the pseudo
image is calculated.
Uma imagem picked-up real que contem uma imagem de uma marca 13 da deteção da posição é escolhida acima por uma unidade 1 do coletor da imagem e a imagem picked-up real é armazenada na memória 5 da imagem através de uma seção 2 da relação. Uma imagem pseudo em que a mudança em um coletor da imagem condiciona é refletida é gerada da imagem picked-up real armazenada por um processador central 6. Quando a imagem pseudo é movida, uma imagem do objeto está detectada usar um parâmetro predeterminado processar de imagem em cada posição do movimento, e um erro da deteção da posição da imagem do objeto relativo à distância do movimento da imagem pseudo é calculado.