A micromechanical field asymmetric ion mobility filter for a detection
system includes a pair of spaced substrates defining between them a flow
path between a sample inlet and an outlet; an ion filter disposed in the
path and including a pair of spaced filter electrodes, one electrode
associated with each substrate; and an electrical controller for applying
a bias voltage and an asymmetric periodic voltage across the ion filter
electrodes for controlling the paths of ions through the filter.
Ein micromechanical fangen asymetrischen Ionenmobilität Filter für ein Abfragung System einschließt ein Paar Raumsubstrate auf, die zwischen ihnen einen Flußweg zwischen einem Beispieleingang und einem Anschluß definieren; ein Ionenfilter schuf im Weg ab und ein Paar Raumfilterelektroden einschließend, verband eine Elektrode mit jedem Substrat; und ein elektrischer Steuerpult für das Anwenden einer Vorspannung und der asymetrischen periodischen Spannung über den Ionenfilterelektroden für das Steuern der Wege der Ionen durch den Filter.
